中國極紫外光源樣機國產化率達90% 目前距離量產還需3—5年

第二十六屆中國國際工業博覽會正在國家會展中心舉行，創新科技舘百餘項上海科創成果集中登場。在朗道燧巖的展位前，一台極紫外光源系統樣機迎來工博會首秀，這也是目前公開展示中進度最靠前的國產EUV光源樣機，也被稱作高端光刻機的“心髒”。極紫外光源是7納米及以下先進製程芯片製造的三大覈心零部件之一，長期受海外技術壟斷與禁運限製，是製約我國高端芯片自主可控的關鍵環節。現場工作人員介紹，本次展出的光源系統國產化率達90%，絕大多數覈心零部件為自主研發，技術路綫與國際領先廠商一致，可用於芯片曝光測試。儘管目前距離量產還需3—5年，但這一突破已邁出了國產EUV光源從實驗室走向產業化的關鍵一步。